1. Integration of Nanomechanical Sensors on CMOS by Nanopatterning Methods - Arcamone, Julien
La presente tesis ha sido realizada principalmente en el Centro Nacional de Microelectrónica de Barcelona (CNM-IMB) del CSIC, y en parte también en el Instituto de Nanotecnología de Lyon (Francia) del CNRS. El Dr Francesc Pérez-Murano ha codirigido la tesis en el CNM, y el Pr Georges Brémond en el INL. Este trabajo se enmarca en el proyecto europeo NaPa (Emerging Nanopatterning Methods) cuyo objetivo es desarrollar técnicas emergentes, industrializables a medio plazo, de litografía a nivel nanométrico, y sus posibles aplicaciones. Así pues, los objetivos principales de la tesis han sido los desarrollos simultáneos (i) de sistemas nanoelectromecánicos (NEMS)...
(application/pdf) - 06-dic-2007